供应FitTech裸晶测试仪

供应FitTech裸晶测试仪

型号：APT 6000

型号：APT 6000

1. 机构部分：

X、Y、Z、θ轴(精度详见规格)

Chuck table（非导电盘&导电盘，共2块）

XYZ 调整座  2  座

Edge Sensor 2 座

彩色CCD 1组，1倍镜头，供扫描定位用、供探针定位、外观检视用

掀开式遮光罩

电控箱

分光卡：350nm-1050nm

选配部分：

清针模块 (毛刷  & 贴片 & 吹气)

è 毛刷及贴片为耗材，依客户的使用状况决定更换次数

ESD 模块：HBM/MM ± 4 KV

è Relay 寿命保证：6个月或2亿次(以先到为主)

2. 测试机部份

电源供应器：SF

Tester基本架构图如下：APT6000

3. IPC 部 分

中央处理器：双核心 CPU G3420 3.2 GHz

存储器：4G

硬盘：500G

17”LCD或以上荧幕、光学鼠标、键盘

作业系统 : Win 7

项目

描述说明

规格

工作面积

2~7.8英寸

198mm

卡盘

平面化

±0.01 mm

X 轴

Zui大行程

200 mm

分辨率

0.5 μm

精度

< 10 μm over 100 mm

Y 轴

300 mm

Z 轴

8 mm

1.2 μm

< 5 μm over 30 mm

θ axis

轴旋转范围

± 30°

0.0018°

< 10 μm over 160 mm

机器视觉

摄像机

CCD

照明

遥控

焦距

手动调整

校准

自动校准

CCD 分辨率

1280*960 像素

透镜放大倍数

1x

屏显

6.4mm × 4.8 mm

l 测试规格.

l 测量表 : SF

项目

单位

规格

机器尺寸W × D × H

mm

930x900x1670

机器重量

Kg

600

电源

V

110

电源电流

A

13

气压

Kgf/cm²

5

空气流量

NL/min

空气管直径

ψ10

真空压力

mmHg

-660

真空流量

40

真空管直径

mm

ψ6